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Product laser

產品中心

激光微刻蝕設備

產品簡介

采用帝爾自研光學勻化技術，實現各類隧穿鈍化層的大面積高精細激光均勻高速蝕刻，廣泛應用于各種高效背接觸電池（XBC）的圖形化生產，實現光刻技術的完美替代，助力實現低成本背接觸電池產業化。

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產品特點
應用領域
技術指標

產品特點

超快激光加工系統+F-T勻化整形技術，無損消融各種氧化膜、鈍化膜等材料

方形光斑尺寸根據客戶需求定制，可滿足不同工藝需求

圖形精細化控制技術，保持P/N區域精準隔離分區

自研高精度視覺算法，實現高精度定位

高產能，高精度，高均勻性，高穩定性

配置多種在線檢測功能，保障產品高良率

模塊化設計，可根據客戶需求選配，兼容性強

應用領域

XBC電池、TOPCon電池

技術指標

適用硅片尺寸	182mm~230mm，兼容各類矩形片
適用硅片厚度	100-180μm
設備產能	≥4000pcs/h@182mm*182mm
圖形精度	≤±15um@182mm
上下料方式	AGV雙層雙軌進出
卡塞盒數量	5x2+1+1

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