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    Product laser
    
                產(chǎn)品中心
            
    
        
    
    
    
    
    
        
    
    

    

     
 

    
  
  
    

    



        
    
            
    

              
               
    
                  
    
					
      
                      
                      
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    OLED陣列激光修復(fù)設(shè)備
    
                    
    產(chǎn)品簡介
    
                    
    利用激光技術(shù)對陣列線路中O/S缺陷進(jìn)行修復(fù)，改善OLED屏幕后期的亮/暗點(diǎn)線等問題，極大提升產(chǎn)品良率。
    
					
                    
					
                  
    
                  
    
               
    
			
    
                
    
                  
      
                     
                        
                       
                       
                      
                       
                       
                      
                       
                       
                        
                       
                  
    
                
    
                 
                    
    
                      
    產(chǎn)品特點(diǎn)
    
                      
    
                        
    
	支持G6代OLED TFT基板

    

    
	兼容性好，支持OLED制程中所有膜層材料修復(fù)（P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等）

    

    
	選配靈活，可根據(jù)客戶制程技術(shù)任意配置

    

    
	修復(fù)成功率≥99.9%

    

    
	精密的光路控制系統(tǒng)，高精度對位及定位精度

    

    
	對接CIM系統(tǒng)，智能化/閉環(huán)反饋

    
                      
    
                    
    
                 
                 
                    
    
                      
    應(yīng)用領(lǐng)域
    
                      
    
                        OLED制造
                      
    
                    
    
                 
                 
                    
    
                      
    技術(shù)指標(biāo)
    
                      
    
                        
    
	
		
    
			
				設(shè)備尺寸 
			
			
				4100mm(L)x3600mm(W) x3400mm(H) 
			
		
    
		
    
			
				設(shè)備環(huán)境（潔凈度） 
			
			
				低于100級 
			
		
    
		
    
			
				玻璃基板尺寸 
			
			
				支持G4.5/G6代 
			
		
    
		
    
			
				激光輸出穩(wěn)定性 
			
			
				≤ 2%，RMS 
			
		
    
		
    
			
				平臺精度 
			
			
				重復(fù)定位精度≤ ±1μm；定位精度<±3μm 
			
		
    
		
    
			
				薄膜類型 
			
			
				P-Si，Mo，Ti /Al/ Ti，ITO/Ag/ITO 等 
			
		
    
		
    
			
				設(shè)備產(chǎn)能 
			
			
				循環(huán)周期:≤60s&帶頂升機(jī)構(gòu) 
			
		
    
	    

    
                      
    
                    
    
                 
                  
                    
    
                      
    應(yīng)用案例
    
                      
    
                        
      
                          
                          
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