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        Product laser
        
                產(chǎn)品中心
            
        
        
        
    
        
    
        
        
    
        

        

     
 

        
  
  
        

        



        
        
            
        

              
               
        
                  
        
					
          
                      
                      
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        晶圓激光清洗/減薄設(shè)備
        
                    
        產(chǎn)品簡(jiǎn)介
        
                    
        以精密的激光微處理技術(shù)替代晶圓制造中的濕刻及化學(xué)機(jī)械研磨工藝，從而實(shí)現(xiàn)晶圓表面各種薄膜的去除，并保證晶圓表面良好的微觀質(zhì)量。
        
					
                    
					
                  
        
                  
        
               
        
			
        
                
        
                  
          
                     
                        
                       
                       
                      
                       
                       
                      
                       
                       
                        
                       
                  
        
                
        
                 
                    
        
                      
        產(chǎn)品特點(diǎn)
        
                      
        
                        
        
	薄膜去除深度靈活，最小支持深度0.33μm

        

        
	支持晶圓制造中各類無(wú)機(jī)/金屬薄膜去除，如：oxide/nitride/poly si/metal

        

        
	優(yōu)異的平整度均勻性，表面幾乎零缺陷

        

        
	精密的激光控制系統(tǒng)，熱影響小

        

        
	零耗材、低污染，成本優(yōu)勢(shì)明顯

        

        
	產(chǎn)能優(yōu)異

        

        
	兼容8~12寸晶圓

        
                      
        
                    
        
                 
                 
                    
        
                      
        應(yīng)用領(lǐng)域
        
                      
        
                        裸晶圓、控片、測(cè)試片、擋片
                      
        
                    
        
                 
                 
                    
        
                      
        技術(shù)指標(biāo)
        
                      
        
                        
        
	
		
        
			
				設(shè)備型號(hào)
			
			
				DR-S-WLC200
			
			
				DR-S-WLC300
			
			
				DR-S-WLT200
			
			
				DR-S-WLT300
			
		
        
		
        
			
				適用晶圓尺寸
			
			
				8寸
			
			
				12寸
			
			
				8寸
			
			
				12寸
			
		
        
		
        
			
				激光能量密度
			
			
				≥30J/cm2
			
			
				≥80J/cm2
			
		
        
		
        
			
				激光輸出穩(wěn)定性
			
			
				≤ 5%，RMS，4hrs
			
		
        
		
        
			
				移除深度
			
			
				2-10μm
			
			
				2-10μm
			
			
				30-100μm
			
			
				30-100μm
			
		
        
		
        
			
				TTV
			
			
				≤2μm
			
			
				≤3μm
			
			
				≤8μm
			
			
				≤15μm
			
		
        
		
        
			
				區(qū)域平整度（20*20）
			
			
				≤0.15μm
			
			
				≤0.3μm
			
			
				≤1μm
			
			
				≤2μm
			
		
        
		
        
			
				設(shè)備產(chǎn)能
			
			
				≥25
			
			
				≥15
			
			
				≥40
			
			
				≥25
			
		
        
	        

        
                      
        
                    
        
                 
                  
                    
        
                      
        應(yīng)用案例
        
                      
        
                        
          
                          
                          
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