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        Product laser
        
                產(chǎn)品中心
            
        
        
        
    
        
    
        
        
    
        

        

     
 

        
  
  
        

        



        
        
            
        

              
               
        
                  
        
					
          
                      
                      
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        TGV激光微孔設(shè)備
        
                    
        產(chǎn)品簡(jiǎn)介
        
                    
        通過(guò)精密控制系統(tǒng)及激光改質(zhì)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材質(zhì)的玻璃基板進(jìn)行微孔、微槽加工，為后續(xù)的金屬化工藝實(shí)現(xiàn)提供條件。
        
					
                    
					
                  
        
                  
        
               
        
			
        
                
        
                  
          
                     
                        
                       
                       
                      
                       
                       
                      
                       
                       
                        
                       
                  
        
                
        
                 
                    
        
                      
        產(chǎn)品特點(diǎn)
        
                      
        
                        
        
	兼容性好，同時(shí)支持石英、硼硅、鈉鈣、鋁硅等多種不同玻璃材質(zhì)

        

        
	可根據(jù)需求在基板上實(shí)現(xiàn)圓孔、方孔、埋孔、通孔以及微槽等多形態(tài)工藝

        

        
	優(yōu)異的深孔特性，最大深徑比達(dá)到100:1，最小孔徑≤5μm

        

        
	良好的孔質(zhì)量，側(cè)壁光滑、無(wú)裂痕、無(wú)批鋒

        

        
	優(yōu)異的產(chǎn)能

        

        
	良好的定位及重復(fù)精度

        
                      
        
                    
        
                 
                 
                    
        
                      
        應(yīng)用領(lǐng)域
        
                      
        
                        半導(dǎo)體芯片封裝、顯示芯片封裝等
                      
        
                    
        
                 
                 
                    
        
                      
        技術(shù)指標(biāo)
        
                      
        
                        
        
								
	
		
        
			
				基板尺寸
			
			
				4~12寸圓形或方形片、G3.5，G4.5，G6
			
		
        
		
        
			
				通孔形狀
			
			
				圓孔、方孔、埋孔、通孔、 微槽
			
		
        
		
        
			
				最小孔徑
			
			
				5μm
			
		
        
		
        
			
				徑深比
			
			
				1:100
			
		
        
		
        
			
				平臺(tái)精度
			
			
				重復(fù)定位精度≤ ±1μm；定位精度<±2μm
			
		
        
		
        
			
				設(shè)備產(chǎn)能
			
			
				≥5000 points/s
			
		
        
	        

        
                      
        
                    
        
                 
                  
                    
        
                      
        應(yīng)用案例
        
                      
        
                        
          
                          
                          
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