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        Product laser
        
                產品中心
            
        
        
        
    
        
    
        
        
    
        

        

     
 

        
  
  
        

        



        
        
            
        

              
               
        
                  
        
					
          
                      
                      
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        晶圓激光隱切設備
        
                    
        產品簡介
        
                    
        該設備可通過精密控制及激光內部改質技術，使得晶圓切割后裂片擴膜成單顆小芯片，以便實現后續(xù)的晶圓封測。
        
					
                    
					
                  
        
                  
        
               
        
			
        
                
        
                  
          
                     
                        
                       
                       
                      
                       
                       
                      
                       
                       
                        
                       
                  
        
                
        
                 
                    
        
                      
        產品特點
        
                      
        
                        
        
	兼容性好，可同時切割4~12寸及不同厚度的晶圓

        

        
	支持藍寶石、硅、碳化硅、鉭酸鋰等襯底材質

        

        
	良好的定位精度及重復定位精度

        

        
	切割質量高，直線度好，無崩邊、裂痕

        

        
	切割區(qū)域影響小，切割道≤20μm

        
                      
        
                    
        
                 
                 
                    
        
                      
        應用領域
        
                      
        
                        半導體芯片封裝
                      
        
                    
        
                 
                 
                    
        
                      
        技術指標
        
                      
        
                        
        
	
		
        
			
				設備型號
			
			
				DR-S-WLNC100
			
			
				DR-S-WLNC300
			
		
        
		
        
			
				設備尺寸
			
			
				1,750mm(W) x 2,250mm(D) x 2,250mm(H)
			
		
        
		
        
			
				適用晶圓尺寸
			
			
				6寸及以下
			
			
				8寸、12寸
			
		
        
		
        
			
				適用晶圓厚度
			
			
				60μm to 400μm
			
		
        
		
        
			
				平臺精度
			
			
				重復定位精度≤ ±1μm；定位精度<±3μm；
			
		
        
		
        
			
				直線度
			
			
				≤ 5 μm
			
		
        
		
        
			
				切割路徑寬度
			
			
				≤ 20 μm
			
		
        
		
        
			
				TTV
			
			
				≤ 10 μm
			
			
				≤ 15 μm
			
		
        
	        

        
                      
        
                    
        
                 
                  
                    
        
                      
        應用案例
        
                      
        
                        
          
                          
                          
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