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    Product laser
    
                產品中心
            
    
        
    
    
    
    
    
        
    
    

    

     
 

    
  
  
    

    



        
    
            
    

              
               
    
                  
    
					
      
                      
                      
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    晶圓激光隱切設備
    
                    
    產品簡介
    
                    
    該設備可通過精密控制及激光內部改質技術，使得晶圓切割后裂片擴膜成單顆小芯片，以便實現后續的晶圓封測。
    
					
                    
					
                  
    
                  
    
               
    
			
    
                
    
                  
      
                     
                        
                       
                       
                      
                       
                       
                      
                       
                       
                        
                       
                  
    
                
    
                 
                    
    
                      
    產品特點
    
                      
    
                        
    
	兼容性好，可同時切割4~12寸及不同厚度的晶圓

    

    
	支持藍寶石、硅、碳化硅、鉭酸鋰等襯底材質

    

    
	良好的定位精度及重復定位精度

    

    
	切割質量高，直線度好，無崩邊、裂痕

    

    
	切割區域影響小，切割道≤20μm

    
                      
    
                    
    
                 
                 
                    
    
                      
    應用領域
    
                      
    
                        Si、Sic等襯底材質芯粒切割
                      
    
                    
    
                 
                 
                    
    
                      
    技術指標
    
                      
    
                        
    
	
		
    
			
				設備型號 
			
			
				DR-S-WLNC100 
			
			
				DR-S-WLNC300 
			
		
    
		
    
			
				設備尺寸 
			
			
				2250mm（L） x 1750mm（W） x 2250mm（H） 
			
		
    
		
    
			
				適用晶圓尺寸 
			
			
				6寸及以下 
			
			
				8寸、12寸 
			
		
    
		
    
			
				適用晶圓厚度 
			
			
				60μm to 400μm 
			
		
    
		
    
			
				平臺精度 
			
			
				重復定位精度≤ ±1μm；定位精度<±3μm； 
			
		
    
		
    
			
				直線度 
			
			
				≤5μm 
			
		
    
		
    
			
				切割路徑寬度 
			
			
				≤20μm 
			
		
    
		
    
			
				TTV 
			
			
				≤10μm 
			
			
				≤15μm 
			
		
    
	    

    
                      
    
                    
    
                 
                  
                    
    
                      
    應用案例
    
                      
    
                        
      
                          
                          
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